光柵 距離

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CN100580563C - 光刻装置及用于校准该光刻装置的方法- Google ...位置^^测器IF进一步包括光源S,该光源产生光束LB,it^EA^到第一光栅gl上时产生 ... 当第一i^p第二她相对于彼ifef多动等于;jyt间距p的距离时,*出淑目同的衍射图, 因此由光传感皿收到相同数量的辐射。

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