電子微探儀 - 貴重儀器中心
文章推薦指數： 80 %
電子微探儀
電子微探儀(EPMA)可以針對金屬材料、電子材料、陶瓷材料、礦物進行微區域之成份定性及定量分析，大區域和高倍率(10,000X 以內
)
之元素特性Ｘ光、二次電子、背向散射電子(BEI)等影像觀察，其測定之精確度比一般EDS高許多，是微區域成份分析很好的工具。
儀器設備說明
型 號： JEOL JXA-8900R Electron Probe X-ray Microanalyzer 主要規格：
加速電壓
0.2kV~40 kV，W
