前瞻聚焦離子束系統／Advanced Focused Ion Beam System

前瞻聚焦離子束系統(Advanced Focused Ion Beam System)(FIB)　　聚焦離子束系統(focus ion beam，FIB)是廿世紀新開發的指標性儀器之一，兼聚臨場橫截面與平面分析，定點TEM試片製作，微奈米圖案與元件製作等重要功能於一機。

隨著電腦運算能力的加速和機械精密加工的進步，功能也一再加強。

　　優異之FIB試片製備技術，能定點切中微小區域，快速製備出滿足高解析度電子顯微鏡拍攝條件，及微區域成分分析的理想觀察試片，並搭配最新型的顯微鏡設備來觀察影像，提供完整之樣品檢測分析。