氣體純度規格表示
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Author:顏澤宇 Date:2003.02.07 Impurity以數字表示 Impurity純度以術語表示 普通純度 99.99% 4N N即nine之意 高純度 99.995%以上 4N5 超高純度 99.9995%~99.9995% 5N~5N5 以上資訊由飛躍科技提供
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