Nikon、Canon 日系光刻機為何被後起之秀ASML 超越 ...

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當今世界光刻機三大製造商是:日本 Nikon、Canon 和荷蘭 ASML,日本 Nikon 和 Canon 都是知名百年老牌照相機製造商,ASML 則是 1984 才成立的合資公司,但如今 ASML 光刻機(曝光機)享譽全球,聲勢更超越 Nikon。

ASML 後發制人卻能邁向成功,這是怎麼做到的?《科技新報》取得「若葉 ヒロユキ」授權轉載,以下為他的見解。

半導體製程的光刻機為用一塊極精細圖案的玻璃底板,透過高性能的縮小成像鏡頭,對塗有感光材料的矽片進行強烈雷射照射的自動化曝光設備。

這塊矽片通常叫晶圓。



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