電子微探分析儀實驗室 - 中央研究院地球科學研究所
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電子微探技術的優勢在於非破壞性，並可從物質表面分析微米大小的區域，以查驗元素的分布情形和化學成分含量（大於‰）。
從1960年代開始，已應用在分析廣義的材料科學，而今電子探針在地球與行星科學領域對礦物化學分析來說已是必須的儀器。
電子微探分析儀（EPMA）主體是掃描式電子顯微鏡裝配了數個波長分散式光譜儀（WDS）。
中央研究院地球科學研究所裝置了一個常見的鎢絲型的EPMA（JEOL JXA-8900R）和一個場發射型的EPMA（JEOL JXA-8500F），在台灣的地球科學領域是唯一頻繁使用的電子微探儀實
